[实用新型]一种真空镀膜机有效

专利信息
申请号: 201822208065.1 申请日: 2018-12-27
公开(公告)号: CN209493625U 公开(公告)日: 2019-10-15
发明(设计)人: 蒋贵霞;贾建国 申请(专利权)人: 昆山英利悦电子有限公司
主分类号: C23C14/35 分类号: C23C14/35;C23C14/50;C23C14/56
代理公司: 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 代理人: 董建林
地址: 215300 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种真空镀膜机,包括镀膜室、第一磁控溅射机、第二磁控溅射机、第三磁控溅射机、第一驱动单元、第二驱动单元、第一U型固定件、第二U型固定件和基材安装组件,各磁控溅射机均设于镀膜室顶部中间位置,三者延长线交汇于同一点;第一驱动单元和第二驱动单元相对设置,二者的输出轴分别贯穿镀膜室上位于同一方向上的两个侧壁后与基材安装组件的端部相连;基材安装组件包括上板和下板,上板和下板的四个角处均通过弹性件相连;上板和下板上分别设有若干个对称设置通孔。本实用新型能够实现当完成基材其中一面的镀膜后,通过驱动承载有基材的基材安装组件转动,从而实现对基材另一面的镀膜,能够大大提高生产效率。
搜索关键词: 基材 磁控溅射机 安装组件 驱动单元 镀膜室 上板 下板 本实用新型 真空镀膜机 镀膜 顶部中间位置 基材另一面 对称设置 生产效率 同一方向 相对设置 弹性件 输出轴 延长线 侧壁 角处 通孔 转动 交汇 承载 驱动 贯穿
【主权项】:
1.一种真空镀膜机,其特征在于,包括:镀膜室,所述镀膜室为双层结构,包括外层和内层;第一磁控溅射机、第二磁控溅射机和第三磁控溅射机,各磁控溅射机均设于镀膜室内层顶部的中间位置处,且三者的延长线交汇于同一点;第一驱动单元和第二驱动单元;所述第一驱动单元和第二驱动单元相对设置,均位于镀膜室的外层和内层之间,二者的输出轴分别贯穿镀膜室内层上位于同一方向上的两个侧壁;第一U型固定件和第二U型固定件,二者结构相同,均包括压板、支撑板和连接板,所述压板设于支撑板上方,其端部滑设于连接板上,所述支撑板的端部与连接板固定相连,所述第一U型固定件和第二U型固定件中的连接板分别与第一驱动单元和第二驱动单元的输出轴相连,且所述压板、支撑板上对应位置处均设有第一定位孔;基材安装组件,所述基材安装组件的两端分别位于所述第一U型固定件和第二U型固定件的开口内,其包括上板和下板,所述上板和下板的四个角处均通过弹性件相连;所述上板和下板上分别设有若干个对称设置通孔,且上板和下板与第一U型固定件和第二U型固定件上的第一定位孔对应的位置处均设有第二定位孔;螺钉,所述螺钉贯穿所述第一定位孔和第二定位孔。
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