[实用新型]晶圆片快速抛光用夹具有效
| 申请号： | 201822216621.X | 申请日： | 2018-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN209681915U | 公开（公告）日： | 2019-11-26 |
| 发明（设计）人： | 陈琳 | 申请（专利权）人： | 苏州美法光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B41/06 | 分类号： | B24B41/06 |
| 代理公司： | 32251 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 刘计成<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市吴*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 晶圆片快速抛光用夹具，它涉及晶圆片抛光夹具技术领域。它包含盘体、抛光孔、定位孔、校正孔、夹紧机构、顺滑台阶、固定机构、齿牙，所述盘体是一个呈圆形的盘体，所述盘体的竖直方向中心贯穿开设有一个定位孔，所述定位孔的圆心与盘体的圆心重合，所述定位孔两侧的盘体上设置有固定机构，所述盘体上以定位孔的圆心为中心环形贯穿开设有多个抛光孔，相邻所述的抛光孔之间的盘体上贯穿开设有校正孔，所述抛光孔的边沿周边设置叠加设置有个顺滑台阶。本实用新型有益效果为：可以对晶圆片进行夹紧，更加的稳固，可以夹紧多种尺寸的晶圆片，自动夹紧，一次性的处理多个晶圆片，更好的保护晶圆片。 | ||
| 搜索关键词： | 盘体 晶圆片 定位孔 抛光孔 圆心 固定机构 校正孔 夹紧 顺滑 贯穿 夹具 本实用新型 叠加设置 方向中心 夹紧机构 抛光夹具 圆心重合 中心环形 周边设置 自动夹紧 一次性 抛光 齿牙 竖直 稳固 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆片快速抛光用夹具，其特征在于：它包含盘体(1)、抛光孔(2)、定位孔(3)、校正孔(4)、夹紧机构(5)、顺滑台阶(6)、固定机构(7)、齿牙(8)，所述盘体(1)是一个呈圆形的盘体，所述盘体(1)的竖直方向中心贯穿开设有一个定位孔(3)，所述定位孔(3)的圆心与盘体(1)的圆心重合，所述定位孔(3)两侧的盘体(1)上设置有固定机构(7)，所述盘体(1)上以定位孔(3)的圆心为中心环形贯穿开设有多个抛光孔(2)，相邻所述的抛光孔(2)之间的盘体(1)上贯穿开设有校正孔(4)，所述抛光孔(2)的边沿周边设置叠加设置有个顺滑台阶(6)，所述抛光孔(2)内侧壁上以抛光孔(2)的圆心为中心环形设置有多个夹紧机构(5)，所述盘体(1)上对应夹紧机构(5)处设置有滑动槽(11)，所述夹紧机构(5)包含夹紧块(51)、弹性件(52)、滑动块(53)、滑动轮(54)、限位块(55)，所述夹紧块(51)的后端端与弹性件(52)的前端固定连接，所述弹性件(52)的后端固定连接在滑动槽(11)内的后端部，所述夹紧块(51)的前端朝向抛光孔(2)的圆心，所述夹紧块(51)的后端上设置有滑动块(53)，所述滑动块(53)上设置有多个滑动轮(54)，所述限位块(55)设置在滑动槽(11)前端的内侧壁上，所述圆形的盘体(1)的圆边上以盘体(1)的圆心为中心环形设置有多个齿牙(8)，所述齿牙(8)填满盘体(1)的圆边。/n
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