[实用新型]一种免拆换晶振片的清洁装置有效
| 申请号： | 201822225233.8 | 申请日： | 2018-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN209227054U | 公开（公告）日： | 2019-08-09 |
| 发明（设计）人： | 刘志文;邹成 | 申请（专利权）人： | 湖畔光电科技（江苏）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;B08B7/00 |
| 代理公司： | 北京律远专利代理事务所(普通合伙) 11574 | 代理人： | 全成哲 |
| 地址： | 213200 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种免拆换晶振片的清洁装置，该清洁装置设置于蒸镀腔室内，包括激光发生器、柱形透镜和排料管道，所述激光发生器设置于所述蒸镀腔室内的定位盘背离所述晶振片一侧，与所述激光发生器相对应位置的所述定位盘上设置有通孔，所述激光发生器与所述通孔之间设置有所述柱形透镜，所述排料管道一端与所述激光发生器与所述通孔之间的空间连通，另一端连接抽气泵。本实用新型的清洁装置通过激光发生器产生激光经柱形透镜形成条状光，穿过通孔作用在晶振片上,有机材料吸收激光能量后,蒸发脱离晶振片镀金层，然后被抽气泵从排料管道中抽走，达到了有效清洁晶振片的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 激光发生器 晶振片 清洁装置 通孔 排料管道 柱形透镜 本实用新型 抽气泵 定位盘 蒸镀腔 免拆 吸收激光能量 相对应位置 室内 空间连通 一端连接 有机材料 镀金层 蒸发 激光 背离 穿过 清洁 脱离 | ||
【主权项】：
1.一种免拆换晶振片的清洁装置，其特征在于：包括激光发生器(1)、柱形透镜(2)和排料管道(4)，所述激光发生器(1)设置于定位盘(5)背离所述晶振片(6)一侧，与所述激光发生器(1)相对应位置的所述定位盘(5)上设置有通孔(3)，所述激光发生器(1)与所述通孔(3)之间设置有所述柱形透镜(2)，所述排料管道(4)一端与所述激光发生器(1)与所述通孔(3)之间的空间连通，另一端连接抽气泵。
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