[实用新型]一种耦合器和真空镀膜设备

摘要

本实用新型公开一种耦合器及真空镀膜设备，其中，该耦合器包括对接座板组件、管道组件以及驱动机构；对接座板组件包括两相对设置的第一对接座板和第二对接座板，第一对接座板上开设有第一管孔，第二对接座板上对应第一管孔开设有第二管孔；管道组件包括自第一管孔的边缘向背离第二对接座板的方向延伸形成的第一管道、自第二管孔的边缘向背离第一对接座板的方向延伸形成的第二管道，且第二管道包括可沿轴向伸缩的波纹管段；驱动机构包括驱动轴，驱动轴与第二对接座板连接，以驱动第二对接座板朝向第一对接座板运动，实现第一对接座板与第二对接座板密封贴合连接。本实用新型的技术方案可提高真空镀膜设备的管道通断便利性。

主权项

1.一种耦合器，用于真空镀膜设备，其特征在于，所述耦合器包括：对接座板组件，所述对接座板组件包括两相对设置的第一对接座板和第二对接座板，所述第一对接座板上开设有第一管孔，所述第二对接座板上对应所述第一管孔开设有第二管孔；管道组件，所述管道组件包括自所述第一管孔的边缘向背离所述第二对接座板的方向延伸形成的第一管道、自所述第二管孔的边缘向背离所述第一对接座板的方向延伸形成的第二管道，且所述第二管道包括可沿轴向伸缩的波纹管段；以及，驱动机构，所述驱动机构包括驱动轴，所述驱动轴与所述第二对接座板连接，以驱动所述第二对接座板朝向所述第一对接座板运动，实现所述第一对接座板与所述第二对接座板密封贴合连接。