[实用新型]一种用于直写式曝光机的Z轴运动机构有效
| 申请号： | 201822228898.4 | 申请日： | 2018-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN209433180U | 公开（公告）日： | 2019-09-24 |
| 发明（设计）人： | 朱道龙;张雷;李伟成 | 申请（专利权）人： | 苏州源卓光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 苏州国诚专利代理有限公司 32293 | 代理人： | 陈松 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种用于直写式曝光机的Z轴运动机构，其运动精度高，包括安装底座，所述安装底座上设置有沿竖直方向设置的导轨，所述导轨上安装有与所述导轨滑动配合的滑动板，所述滑动板上安装有基板平台，所述基板平台上设置有吸盘，所述基板平台下方设置有悬臂支撑架支撑所述基板平台，还包括平行于所述导轨设置的丝杆，所述丝杆上设有丝杆螺母，所述丝杆螺母安装在所述滑动板上，所述丝杆通过传动组件连接有伺服电机，所述伺服电机能够驱动所述滑动板使得所述基板平台沿所述丝杆上下移动。 | ||
| 搜索关键词： | 滑动板 导轨 丝杆 基板平台 安装底座 丝杆螺母 伺服电机 曝光机 直写 吸盘 本实用新型 悬臂支撑架 传动组件 方向设置 滑动配合 上下移动 竖直 平行 驱动 支撑 | ||
【主权项】：
1.一种用于直写式曝光机的Z轴运动机构，包括安装底座，其特征在于：所述安装底座上设置有沿竖直方向设置的导轨，所述导轨上安装有与所述导轨滑动配合的滑动板，所述滑动板上安装有基板平台，所述基板平台上设置有吸盘，所述基板平台下方设置有悬臂支撑架支撑所述基板平台，还包括平行于所述导轨设置的丝杆，所述丝杆上设有丝杆螺母，所述丝杆螺母安装在所述滑动板上，所述丝杆通过传动组件连接有伺服电机，所述伺服电机能够驱动所述滑动板使得所述基板平台沿所述丝杆上下移动。
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