[实用新型]一种具有检查单晶硅片裂隙功能的夹送装置

摘要

本实用新型提供一种具有检查单晶硅片裂隙功能的夹送装置，涉及半导体材料技术领域。实现了能够避免夹持单晶硅片时产生刚性接触造成单晶硅片产生影裂的效果。该具有检查单晶硅片裂隙功能的夹送装置，包括固定装置、显光装置和输送装置，所述显光装置和输送装置均位于固定装置的表面，所述显光装置位于输送装置的底部。该具有检查单晶硅片裂隙功能的夹送装置，利用柔性海绵制成的放置垫放置单晶硅片，避免单晶硅片与垫板之间刚性接触产生损伤，利用大气压将单晶硅片固定在吸附盘的底部，利用香柏油作为吸附盘与单晶硅片之前的介质，避免了吸附盘与单晶硅片之间产生刚性接触造成影裂。

主权项

1.一种具有检查单晶硅片裂隙功能的夹送装置，包括固定装置（1）、显光装置（2）和输送装置（3），其特征在于：所述显光装置（2）和输送装置（3）均位于固定装置（1）的表面，所述显光装置（2）位于输送装置（3）的底部；所述固定装置（1）包括垫板（101），所述垫板（101）的顶部固定安装有第一支撑柱（102），所述第一支撑柱（102）的右侧通过输送装置（3）与第二支撑柱（103）活动连接，所述第二支撑柱（103）的底部与垫板（101）固定连接，垫板（101）的顶部固定安装有放置垫（104）；所述显光装置（2）包括第一安装板（201），所述第一安装板（201）的左侧通过轴承活动安装有转轴（202），所述转轴（202）的表面套设有显光板（203），转轴（202）的左侧固定安装有限位齿轮（205），所述限位齿轮（205）顶部设有卡块（208），所述卡块（208）的顶部固定安装有弹簧（207），所述弹簧（207）的顶部固定安装有安装槽（206）；所述输送装置（3）包括辅杆（301），所述辅杆（301）的底部设有螺纹杆（302），所述螺纹杆（302）的表面螺纹连接有滑块（303），所述滑块（303）的底部固定安装有电动伸缩杆（304），所述电动伸缩杆（304）的底部固定安装有吸附装置（305）；所述吸附装置（305）包括出油管（3051），所述出油管（3051）的表面自上到下依次套设有固定块（3052）和灯盘（3053），所述灯盘（3053）的顶部与固定块（3052）固定连接，出油管（3051）的顶部连通有微型水泵（3055），出油管（3051）的底部固定安装有吸附盘（3054）。