[实用新型]一种真空镀膜设备电子枪装置

摘要

本实用新型涉及电子枪技术领域，且公开了一种真空镀膜设备电子枪装置，包括保护壳，所述保护壳的表面固定连接有法兰盘，所述法兰盘的上表面开设有螺纹孔，且螺纹孔贯穿并延伸至法兰盘的下端，所述螺纹孔的内壁螺纹连接有螺纹杆，所述保护壳表面的顶部固定连接有第一缓冲腔，所述第一缓冲腔的右侧面固定连接有出水管。该真空镀膜设备电子枪装置，冷却水在冷却管中流动的距离增长使得冷却水带走保护壳的热量越多，且通过第二缓冲腔内的冷却水，可以对在冷却管内部冷却水进行第二重冷却效果，第一缓冲腔内的冷却液可以带走冷却管内部冷却水的热量，使得在同样的冷却能率的情况下冷却效果更好，从而可以实现冷却效果好的目的。

主权项

1.一种真空镀膜设备电子枪装置，包括保护壳（1），其特征在于：所述保护壳（1）的表面固定连接有法兰盘（2），所述法兰盘（2）的上表面开设有螺纹孔（3），且螺纹孔（3）贯穿并延伸至法兰盘（2）的下端，所述螺纹孔（3）的内壁螺纹连接有螺纹杆（4），所述保护壳（1）表面的顶部固定连接有第一缓冲腔（5），所述第一缓冲腔（5）的右侧面固定连接有出水管（6），且出水管（6）贯穿并连通至第一缓冲腔（5）的内部，所述第一缓冲腔（5）的下表面固定连接有第一隔板（7），所述第一隔板（7）的上表面开设有出水孔（17），所述出水管（6）贯穿并连通第一隔板（7）的下端，所述第一隔板（7）的下表面开设有第一通槽（8），所述第一隔板（7）的下表面固定连接有冷却管（9），所述冷却管（9）的内壁固定连接有第一导热板（10），所述第一导热板（10）固定连接在保护壳（1）的表面，且第一导热板（10）固定连接在第一隔板（7）的下表面，所述第一导热板（10）的下表面固定连接有第二隔板（11），且第二隔板（11）固定连接在冷却管（9）的下表面，所述冷却管（9）的内壁固定连接有第二导热板（12），所述第二导热板（12）固定连接在保护壳（1）的表面，且第二导热板（12）固定连接在第二隔板（11）的下表面，所述第二导热板（12）的下表面与第二隔板（11）的上表面固定连接，所述第二隔板（11）的上表面开设有进水孔（13），所述进水孔（13）贯穿并连通第二隔板（11）的下端，所述第二隔板（11）的上表面开设有第二通槽（16），所述第二隔板（11）的下表面固定连接有第二缓冲腔（14），所述第二缓冲腔（14）的右侧面固定连接有进水管（15），且进水管（15）与第二缓冲腔（14）的内部相连通。