[实用新型]一种真空镀膜用旋转机构有效
申请号: | 201822235311.2 | 申请日: | 2018-12-28 |
公开(公告)号: | CN209741267U | 公开(公告)日: | 2019-12-06 |
发明(设计)人: | 殷霞 | 申请(专利权)人: | 镇江超威纳米科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50 |
代理公司: | 31258 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 季萍<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
地址: | 212211 江苏省镇江市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及真空镀膜技术领域,且公开了一种真空镀膜用旋转机构,包括设备壳体,所述设备壳体内壁的上表面固定连接有伺服电机,所述伺服电机的上表面固定连接有第一传动轴。该真空镀膜用旋转机构,第二轴承以固定圈为转轴顺时针转动时,通过齿轮与齿轮圈相啮合,在第二轴承的作用下,使得齿轮通过第二传动轴、固定块和第二连接杆带动固定管以固定块圆心为转轴逆时针转动,使得固定管内的工件镀膜更均匀,工件套以固定块圆心为转轴逆时针转动,使得当第一橡胶圈与第二橡胶圈摩擦时,在第三轴承的作用下,使得工件套内的工件可以自转,进行更加均匀的镀膜工作,从而使得可以实现在旋转镀膜时能够自转的目的。 | ||
搜索关键词: | 固定块 轴承 逆时针转动 圆心 伺服电机 旋转机构 真空镀膜 传动轴 固定管 上表面 橡胶圈 齿轮 自转 镀膜 转轴 啮合 真空镀膜技术 本实用新型 转轴顺时针 设备壳体 旋转镀膜 齿轮圈 固定圈 连接杆 设备壳 转动 摩擦 体内 | ||
【主权项】:
1.一种真空镀膜用旋转机构,包括设备壳体(1),其特征在于:所述设备壳体(1)内壁的上表面固定连接有伺服电机(2),所述伺服电机(2)的上表面固定连接有第一传动轴(3),所述设备壳体(1)的内壁固定连接有支撑板(4),所述支撑板(4)上表面固定镶嵌有贯穿并连通支撑板(4)两端的第一轴承(5),所述第一轴承(5)的内壁与第一传动轴(3)的表面固定连接,所述支撑板(4)的上表面开设有贯穿并连通支撑板(4)上端的弧形槽(6),所述弧形槽(6)的内壁活动连接有滚轮(7),所述滚轮(7)的中心轴固定连接有支撑杆(8),所述支撑杆(8)的上表面固定连接有第一连接杆(9),所述第一连接杆(9)的一端固定连接有固定圈(10),且固定圈(10)固定连接在第一传动轴(3)表面的顶部,所述第一连接杆(9)的另一端固定连接有第二轴承(11),所述第二轴承(11)的内壁固定连接有固定管(12),所述固定管(12)的表面固定连接有第二连接杆(13),所述第二连接杆(13)的另一端固定连接有固定块(14),所述固定块(14)的下表面固定连接有第二传动轴(16),所述第二传动轴(16)的底部固定连接有齿轮(15),所述齿轮(15)的表面啮合有齿轮圈(17),且齿轮圈(17)固定连接在设备壳体(1)的内壁,所述固定管(12)的内壁固定连接有第三轴承(18),所述第三轴承(18)的内壁固定连接有工件套(19),所述工件套(19)的表面的底部固定连接有第一橡胶圈(20),所述第一橡胶圈(20)的表面活动连接有第二橡胶圈(21),且第二橡胶圈(21)固定连接在设备壳体(1)的内壁。/n
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