[实用新型]短运行行程的芯片加工用倒装装置有效
申请号: | 201822236722.3 | 申请日: | 2018-12-29 |
公开(公告)号: | CN209133460U | 公开(公告)日: | 2019-07-19 |
发明(设计)人: | 林晓东 | 申请(专利权)人: | 晶科华兴集成电路(深圳)有限公司 |
主分类号: | H01L21/54 | 分类号: | H01L21/54;H01L21/68 |
代理公司: | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人: | 汤东凤 |
地址: | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型涉及倒装装置技术领域,且公开了短运行行程的芯片加工用倒装装置,包括支撑台、基板和芯片,所述支撑台的顶部固定安装有支撑架,所述支撑架的右侧面固定安装有储料罐,所述储料罐的底部设置有定量阀,所述支撑台的内部固定安装有支撑板,所述支撑板的数量为两个,所述支撑台的内部固定安装有位于两个支撑板之间的电机,电机的输出轴固定套装有主动轮,主动轮的顶端啮合连接有从动轮,从动轮的内部固定套装有丝杆。该短运行行程的芯片加工用倒装装置,通过设置定量阀,利用定量阀实现定量涂覆,从而避免涂覆的量过多造成资源的浪费,涂覆的量过少会影响芯片倒装的质量,增加了该倒装装置的实用性。 | ||
搜索关键词: | 倒装 支撑台 内部固定 芯片加工 定量阀 支撑板 涂覆 储料罐 从动轮 支撑架 电机 装置技术领域 本实用新型 固定套装 啮合连接 影响芯片 输出轴 右侧面 主动轮 动轮 基板 丝杆 芯片 | ||
【主权项】:
1.短运行行程的芯片加工用倒装装置,包括支撑台(1)、基板(13)和芯片(14),其特征在于:所述支撑台(1)的顶部固定安装有支撑架(2),所述支撑架(2)的右侧面固定安装有储料罐(15),所述储料罐(15)的底部设置有定量阀(3),所述支撑台(1)的内部固定安装有支撑板(4),所述支撑板(4)的数量为两个,所述支撑台(1)的内部固定安装有位于两个支撑板(4)之间的电机(5),所述电机(5)的输出轴固定套装有主动轮(6),所述主动轮(6)的顶端啮合连接有从动轮(7),所述从动轮(7)的内部固定套装有丝杆(8),所述丝杆(8)的两端分别与两个支撑板(4)活动套接,所述丝杆(8)的外表面螺纹套装有位于电机(5)两侧的夹杆(9),两个所述夹杆(9)的顶端均穿过支撑台(1)并延伸至支撑台(1)顶端的外部且固定连接有指示杆(10),所述支撑台(1)顶部的右侧固定安装有焊机(11)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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