[实用新型]一种用于多弧离子镀膜的小弧源

摘要

本实用新型公开了一种用于多弧离子镀膜的小弧源，在安装法兰上螺栓固定屏蔽罩；在屏蔽罩的上方固定若干个支撑螺栓，在支撑螺栓上用螺母固定屏蔽板；在屏蔽板的中间套入靶材；在屏蔽罩的内部，在安装法兰上从下往上依次固定绝缘法兰、轭铁、靶座、靶材压框，固定靶材等部件；在安装法兰的边缘上开设一圆孔；在圆孔内设置自动引弧装置；小弧源采用三路磁场结构，外圈环形磁铁位置固定，中间的柱形磁铁高度可调，有效增强了靶材表面的磁场强度，可使用钨钼等耐高温难熔融靶材，解决了以往类似金属或合金难以镀膜的问题。

主权项

1.一种用于多弧离子镀膜的小弧源，其特征在于，包括磁铁调节柱、内磁铁、靶座、轭铁、水管、绝缘法兰、安装法兰、屏蔽罩、绝缘套、绝缘垫、屏蔽板、靶材压框、封水板、靶材、外磁铁，自动引弧装置；在所述的安装法兰上螺栓固定屏蔽罩；在屏蔽罩的上方固定若干个支撑螺栓，在支撑螺栓上用螺母固定所述的屏蔽板；在屏蔽板的中间套入靶材；在所述的屏蔽罩的内部，在安装法兰上从下往上依次固定绝缘法兰、轭铁、靶座；在所述的轭铁和靶座之间设置一圈所述的外磁铁；在所述的轭铁和靶座的中心位置上设置一凹槽，在凹槽中设置磁铁调节柱与内磁铁，所述的磁铁调节柱从上往下依次穿过所述的轭铁和所述的安装法兰；在所述的靶座与靶材之间设置封水板；在封水板下方的空缺中，螺纹连接水管，水管依次穿过靶座、轭铁以及安装法兰，在封水板上方设置靶材压框，固定靶材；在安装法兰的边缘上开设一圆孔；在圆孔内设置自动引弧装置。