[发明专利]模拟缺陷样品及其制造方法、超声波探伤测定条件的调整方法、靶原材料的检查方法、以及溅射靶的制造方法在审
| 申请号： | 201880000346.8 | 申请日： | 2018-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN108603862A | 公开（公告）日： | 2018-09-28 |
| 发明（设计）人： | 菅原裕明;西冈宏司 | 申请（专利权）人： | 住友化学株式会社 |
| 主分类号： | G01N29/30 | 分类号： | G01N29/30 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 杨宏军;唐峥 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的模拟缺陷样品用于调整检查靶原材料的内部缺陷的超声波探伤测定条件，前述模拟缺陷样品具有包含第1面及与该第1面相对的第2面的基板，在前述基板上形成有从前述第1面侧起具有第1深度的沉头孔，并且，在前述沉头孔的底面的一部分形成有从前述沉头孔的底面起具有第2深度的平底孔，前述平底孔的当量圆直径φ小于0.3mm时，前述平底孔的当量圆直径φ相对于前述平底孔的第2深度d的比例φ/d为0.08以上且小于0.40，前述平底孔的当量圆直径φ为0.3mm以上且小于0.4mm时，前述比例φ/d为0.1以上且小于0.60，前述平底孔的当量圆直径φ为0.4mm以上时，前述比例φ/d为0.11以上且小于1.60。 | ||
| 搜索关键词： | 平底孔 模拟缺陷 沉头孔 超声波探伤 测定条件 内部缺陷 前述基板 溅射靶 底面 基板 面侧 制造 检查 | ||
【主权项】：
1.模拟缺陷样品，其用于对检查靶原材料的内部缺陷的超声波探伤测定的条件进行调整，所述模拟缺陷样品具有包含第1面及与所述第1面相对的第2面的基板，在所述基板上形成有从所述第1面侧起具有第1深度的沉头孔，并且，在所述沉头孔的底面的一部分形成有从所述沉头孔的底面起具有第2深度的平底孔，所述平底孔的当量圆直径φ小于0.3mm时，所述平底孔的当量圆直径φ相对于所述平底孔的第2深度d的比例φ/d为0.08以上且小于0.40，所述平底孔的当量圆直径φ为0.3mm以上且小于0.4mm时，所述平底孔的当量圆直径φ相对于所述平底孔的第2深度d的比例φ/d为0.1以上且小于0.60，所述平底孔的当量圆直径φ为0.4mm以上时，所述平底孔的当量圆直径φ相对于所述平底孔的第2深度d的比例φ/d为0.11以上且小于1.60。
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