[发明专利]散射角测量装置和散射角测量方法在审
申请号: | 201880000919.7 | 申请日: | 2018-06-28 |
公开(公告)号: | CN109073549A | 公开(公告)日: | 2018-12-21 |
发明(设计)人: | 蒋鹏;任新东;郭子成 | 申请(专利权)人: | 深圳市汇顶科技股份有限公司 |
主分类号: | G01N21/47 | 分类号: | G01N21/47 |
代理公司: | 北京龙双利达知识产权代理有限公司 11329 | 代理人: | 王君;毛威 |
地址: | 518045 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本申请公开了一种散射角测量装置,该散射角测量装置包括:激光器,用于向待测件发射光线,以得到所述光线经过所述待测件后形成的散射光;信号采集单元,用于在所述光线的入射平面内移动,以采集所述入射平面内的多个散射方向上的所述散射光;处理单元,用于根据所述多个散射方向上的散射光强,确定所述待测件的散射角。因此,信号采集单元通过在入射平面内的多个散射方向上移动从而采集各个散射方向上的散射光,并由处理单元根据该信号采集单元采集到的该多个散射方向上的散射光强计算该待测件的散射角。由于该信号采集单元可以在入射平面内进行移动,因此仅需要一个信号采集单元就能够采集到各个散射方向上的散射光,大大降低了测量装置的成本。 | ||
搜索关键词: | 散射方向 散射角 信号采集单元 测量装置 入射平面 待测件 散射光 采集 处理单元 散射光强 发射光线 激光器 上移动 移动 测量 申请 | ||
【主权项】:
1.一种散射角测量装置,其特征在于,所述散射角测量装置包括:激光器,用于向待测件发射光线,以得到所述光线经过所述待测件后形成的散射光;信号采集单元,用于在所述光线的入射平面内移动,以采集所述入射平面内的多个散射方向上的所述散射光;处理单元,用于根据所述多个散射方向上的散射光强,确定所述待测件的散射角。
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