[发明专利]多堆叠层三维存储器件有效
申请号: | 201880001921.6 | 申请日: | 2018-09-20 |
公开(公告)号: | CN109417075B | 公开(公告)日: | 2020-06-26 |
发明(设计)人: | 肖莉红;胡斌 | 申请(专利权)人: | 长江存储科技有限责任公司 |
主分类号: | H01L27/1157 | 分类号: | H01L27/1157;H01L27/11578 |
代理公司: | 北京永新同创知识产权代理有限公司 11376 | 代理人: | 钟胜光 |
地址: | 430074 湖北省武汉市东湖*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 公开了具有多个存储堆叠层的三维(3D)存储器件以及用于形成3D存储器件的方法的实施例。在示例中,3D存储器件包括第一器件芯片、第二器件芯片和键合界面。第一器件芯片包括外围器件和第一互连层。第二器件芯片包括衬底、设置在衬底的相对侧上的两个存储堆叠层、两个存储器串、以及第二互连层,其中每个存储器串垂直延伸穿过两个存储堆叠层中的一个。键合界面垂直地形成在第一器件芯片的第一互连层和第二器件芯片的第二互连层之间。 | ||
搜索关键词: | 堆叠 三维 存储 器件 | ||
【主权项】:
1.一种三维(3D)存储器件,包括:第一器件芯片,包括:外围器件;以及第一互连层;第二器件芯片,包括:衬底;设置在所述衬底的相对侧的两个存储堆叠层;两个存储器串,每个所述存储器串垂直延伸穿过所述两个存储堆叠层中的一个;以及第二互连层;以及键合界面,所述键合界面垂直形成在所述第一器件芯片的所述第一互连层和所述第二器件芯片的所述第二互连层之间。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
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