[发明专利]形成介电膜的组合物有效
| 申请号： | 201880001944.7 | 申请日： | 2018-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN109790405B | 公开（公告）日： | 2022-07-15 |
| 发明（设计）人： | S·马利克;W·A·赖纳特;O·迪莫夫;R·萨卡穆里 | 申请（专利权）人： | 富士胶片电子材料美国有限公司 |
| 主分类号： | C09D7/00 | 分类号： | C09D7/00;C09D7/20;C09D179/08;H01L21/762;H01L51/00 |
| 代理公司： | 北京博思佳知识产权代理有限公司 11415 | 代理人： | 林祥 |
| 地址： | 美国罗*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种形成介电膜的组合物，其包含a)至少一种完全酰亚胺化的聚酰亚胺聚合物；b)至少一种含金属的(甲基)丙烯酸酯；c)至少一种催化剂；d)至少一种溶剂，以及相关的工艺和相关产品。当通过激光烧蚀工艺图案化介电膜时，该组合物可以形成基本上不产生碎屑的介电膜。 | ||
| 搜索关键词： | 形成 介电膜 组合 | ||
【主权项】：
1.一种形成介电膜的组合物，包含：a)至少一种完全酰亚胺化的聚酰亚胺聚合物；b)至少一种含金属的(甲基)丙烯酸酯；c)至少一种催化剂；和d)至少一种溶剂。
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