[发明专利]超声换能器及其制造方法在审
| 申请号： | 201880002105.7 | 申请日： | 2018-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN109561876A | 公开（公告）日： | 2019-04-02 |
| 发明（设计）人： | 王红超;沈健;李运宁 | 申请（专利权）人： | 深圳市汇顶科技股份有限公司 |
| 主分类号： | A61B8/00 | 分类号： | A61B8/00;G06K9/00;G10K9/122;G10K11/02 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 钭飒飒;臧建明 |
| 地址： | 518045 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种超声换能器及其制造方法。该超声换能器，包括：依次层叠设置的衬底(106)、下电极(105)、支撑块(103)、振膜层(102)、上电极(101)；其中，所述衬底(106)的靠近振膜层(102)的一面上设置有凹槽，所述下电极(105)填充于所述凹槽内；所述支撑块(103)将所述振膜层(102)和所述衬底(106)之间的空间分隔成密闭的空腔(104)，且所述空腔(104)与所述下电极(105)的位置相对应。从而实现了下电极的阵列化，使得引线方式更加简单，便于对超声换能器阵元的发射和接收进行独立控制。 | ||
| 搜索关键词： | 下电极 超声换能器 振膜层 衬底 空腔 超声换能器阵元 独立控制 空间分隔 依次层叠 引线方式 阵列化 电极 密闭 支撑 填充 制造 发射 | ||
【主权项】：
1.一种超声换能器，其特征在于，包括：依次层叠设置的衬底(106)、下电极(105)、支撑块(103)、振膜层(102)、上电极(101)；其中，所述衬底(106)的靠近振膜层(102)的一面上设置有凹槽，所述下电极(105)填充于所述凹槽内；所述支撑块(103)将所述振膜层(102)和所述衬底(106)之间的空间分隔成密闭的空腔(104)，且所述空腔(104)与所述下电极(105)的位置相对应。
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