[发明专利]磁性隧道结装置及其制造方法有效

专利信息
申请号: 201880002969.9 申请日: 2018-06-19
公开(公告)号: CN109564968B 公开(公告)日: 2022-11-29
发明(设计)人: 林相镐;权炯根;李性来 申请(专利权)人: 高丽大学校产学协力团
主分类号: H01L43/10 分类号: H01L43/10;H01L43/02;H01L43/12;H01L43/08
代理公司: 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人: 杨文娟;臧建明
地址: 韩国首尔*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提供一种磁性隧道结装置及其制造方法。磁性隧道结装置包含重金属层、安置在重金属层上的自由磁性层以及安置在自由磁性层上的隧道绝缘层。重金属层包含铂(Pt),自由磁性层包含钴(Co),自由磁性层的磁化状态具有简易圆锥(cone)状态,自由磁性层具有正一级垂直磁各向异性常数及负二级垂直磁各向异性常数,且隧道绝缘层包含氧化镁(MgO)。根据实例实施例,可通过调整绝缘层的溅镀功率、后退火温度、磁性层的厚度等等来显著改进热稳定特性。或者,可通过形成具有简易圆锥状态的磁性层来显著改进由自旋力矩引起的磁化速度反转。
搜索关键词: 磁性 隧道 装置 及其 制造 方法
【主权项】:
1.一种磁性隧道结装置,包含重金属层、安置在所述重金属层上的自由磁性层以及安置在所述自由磁性层上的隧道绝缘层,其中所述重金属层包含铂,所述自由磁性层包含钴(Co),所述自由磁性层的磁化状态具有简易圆锥(cone)状态,所述自由磁性层具有正一级垂直磁各向异性常数及负二级垂直磁各向异性常数,以及所述隧道绝缘层包含MgO。
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