[发明专利]工件处理装置以及已处理工件的制造方法有效
| 申请号： | 201880005335.9 | 申请日： | 2018-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN110100144B | 公开（公告）日： | 2020-03-03 |
| 发明（设计）人： | 松田纯;大久保达生;小泽直人 | 申请（专利权）人： | 株式会社欧利生 |
| 主分类号： | F28D20/00 | 分类号： | F28D20/00;B23K1/008;B23K31/02 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 徐殿军 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供工件处理装置以及已处理工件的制造方法，工件处理装置包括气化装置，该气化装置不需要载气而使比较大流量的气化对象液体气化。气化装置(1)具备：气化部(10)，包括与羧酸的气化对象液体(Fq)相比热容量大规定的比的蓄热体(11)；以及供热器(20)，向气化部(10)供给热，规定的比是在使气化对象液体(Fq)向蓄热体流路(12)流动而使气化对象液体(Fq)以预定比例气化时所需要的热量从蓄热体(11)传递到气化对象液体(Fq)时、蓄热体(11)的温度降低成为预先决定的范围内的热容量的比。工件处理装置(100)具备气化装置(1)、腔室(5)、以及使腔室(5)内部成为负压的真空泵(6)。已处理工件的制造方法为，将工件(W)搬入到腔室(5)内，将在气化装置(1)中生成的处理气体(Fg)供给到腔室(5)内，在腔室(5)内的处理气体(Fg)的环境下对工件(W)实施规定的处理。 | ||
| 搜索关键词： | 工件 处理 装置 以及 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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