[发明专利]用于形成微细相分离图案的下层膜形成用组合物有效
| 申请号： | 201880007435.5 | 申请日： | 2018-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN110191930B | 公开（公告）日： | 2022-01-04 |
| 发明（设计）人： | 水落龙太;染谷安信;若山浩之;坂本力丸 | 申请（专利权）人： | 日产化学株式会社 |
| 主分类号： | C09D125/08 | 分类号： | C09D125/08;C08F212/12;C08F220/18;C08L25/16;C08L33/10;C09D5/00;C09D133/06;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 孙丽梅;段承恩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供耐溶剂性优异，能够使在基板上形成的包含嵌段共聚物的层的微相分离结构相对于基板垂直诱导的下层膜形成用组合物。一种下层膜形成用组合物，其包含共聚物，上述共聚物包含(A)来源于含有叔丁基的苯乙烯化合物的单元结构，(B)来源于不含有羟基的含有芳香族结构的乙烯基化合物、并且除上述(A)以外的单元结构，(C)来源于含有(甲基)丙烯酰基且不含有羟基的化合物的单元结构，(D)来源于含有交联形成基的化合物的单元结构，相对于共聚物整体的共聚比为，(A)25～90摩尔％，(B)0～65摩尔％，(C)0～65摩尔％，(D)10～20摩尔％，并且(A)+(B)+(C)之中，包含芳香族结构的单元结构为81～90摩尔％。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 形成 微细 分离 图案 下层 组合 | ||
【主权项】：
1.一种下层膜形成用组合物，是为了使在基板上形成的包含嵌段共聚物的层相分离而使用的下层膜形成用组合物，该组合物包含下述所示的共聚物，所述共聚物包含：(A)来源于含有叔丁基的苯乙烯化合物的单元结构，(B)来源于不含有羟基的含有芳香族结构的乙烯基化合物、并且除所述(A)以外的单元结构，(C)来源于含有(甲基)丙烯酰基且不含有羟基的化合物的单元结构，(D)来源于含有交联形成基的化合物的单元结构，相对于该共聚物整体的共聚比为，(A)25～90摩尔％，(B)0～65摩尔％，(C)0～65摩尔％，(D)10～20摩尔％，并且(A)+(B)+(C)之中，包含芳香族结构的单元结构为81～90摩尔％。
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C09 染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用
C09D 涂料组合物，例如色漆、清漆或天然漆；填充浆料；化学涂料或油墨的去除剂；油墨；改正液；木材着色剂；用于着色或印刷的浆料或固体；原料为此的应用
C09D125-00 基于有1个或多个不饱和脂族基化合物的均聚物或共聚物的涂料组合物，其中每个不饱和脂族基只有1个碳-碳双键，并且至少有1个是以芳族碳环为终端；基于此种聚合物衍生物的涂料组合物
C09D125-02 .烃的均聚物或共聚物
C09D125-18 .含有除碳和氢之外元素的芳族单体的均聚物或共聚物
C09D125-04 ..苯乙烯的均聚物或共聚物
C09D125-16 ..烷基取代苯乙烯的均聚物或共聚物
C09D125-06 ...聚苯乙烯
C09D 涂料组合物，例如色漆、清漆或天然漆；填充浆料；化学涂料或油墨的去除剂；油墨；改正液；木材着色剂；用于着色或印刷的浆料或固体；原料为此的应用
C09D125-00 基于有1个或多个不饱和脂族基化合物的均聚物或共聚物的涂料组合物，其中每个不饱和脂族基只有1个碳-碳双键，并且至少有1个是以芳族碳环为终端；基于此种聚合物衍生物的涂料组合物
C09D125-02 .烃的均聚物或共聚物
C09D125-18 .含有除碳和氢之外元素的芳族单体的均聚物或共聚物
C09D125-04 ..苯乙烯的均聚物或共聚物
C09D125-16 ..烷基取代苯乙烯的均聚物或共聚物
C09D125-06 ...聚苯乙烯
