[发明专利]带有级间入口的多级涡轮分子泵有效
| 申请号： | 201880007722.6 | 申请日： | 2018-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN110177950B | 公开（公告）日： | 2021-12-28 |
| 发明（设计）人： | A.科贝特;M.加尔特里 | 申请（专利权）人： | 爱德华兹有限公司 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04;F04D29/26;F04D29/40 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 代易宁;谭祐祥 |
| 地址： | 英国西萨*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了一种多级涡轮分子泵。泵包括：较高真空级，其包括多个转子叶片排；较低真空级，其包括直径比较高真空级的转子叶片排大的多个转子叶片排；级间入口，其用于在较高真空级与较低真空级之间将气体输入到涡轮分子泵中，该入口从泵的外圆周延伸至在较大直径内的径向位置，并包括用于在轴向方向上引导气体进入泵的气体引导构造。 | ||
| 搜索关键词： | 带有 入口 多级 涡轮 分子 | ||
【主权项】：
1.一种多级涡轮分子泵，包括：较高真空级，其包括多个转子叶片排；较低真空级，其包括直径比所述较高真空级的所述转子叶片排的直径大的多个转子叶片排；级间入口，其用于在所述较高真空级与所述较低真空级之间将气体输入所述涡轮分子泵，所述入口从所述泵的外圆周延伸至在所述较大直径内侧的径向位置，并包括用于在轴向方向上引导所述气体进入所述泵的气体引导构造。
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