[发明专利]复合密封件有效
申请号: | 201880009149.2 | 申请日: | 2018-01-24 |
公开(公告)号: | CN110234914B | 公开(公告)日: | 2020-12-29 |
发明(设计)人: | 金相镐;黑田路;吉田延博;中川一平 | 申请(专利权)人: | 株式会社华尔卡 |
主分类号: | F16J15/10 | 分类号: | F16J15/10 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 沈捷 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | [技术问题]提供一种复合密封件,能长期维持真空密封性能、耐等离子性和耐腐蚀气体性等性能。[解决方案]一种复合密封件,安装在设于一方构件的主体面的密封槽内,通过使另一方构件靠近上述一方构件而使上述一方构件与另一方构件之间变成密封状态,上述复合密封件包括:配置于上述密封槽的一方侧壁侧、并由弹性构件构成的第一密封构件;以及配置于上述密封槽的另一方侧壁侧、并由比上述第一密封构件硬的材料构成的第二密封构件,上述第二密封构件至少具有:与上述密封槽的另一方侧壁大致平行且面接触的另一方侧壁抵接面;以及与上述另一方构件的密封面大致平行、且在上述密封状态时与另一方构件的密封面面接触的密封抵接面。 | ||
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【主权项】:
1.一种复合密封件,安装在设于一方构件的主体面的密封槽内,通过使另一方构件靠近所述一方构件而使所述一方构件与另一方构件之间变成密封状态,其特征在于,所述复合密封件包括:第一密封构件,所述第一密封构件配置于所述密封槽的一方侧壁侧,并由弹性构件构成;以及第二密封构件,所述第二密封构件配置于所述密封槽的另一方侧壁侧,并由比所述第一密封构件硬的材料构成,所述第二密封构件至少具有:另一方侧壁抵接面,所述另一方侧壁抵接面与所述密封槽的另一方侧壁大致平行且面接触;以及密封抵接面,所述密封抵接面与所述另一方构件的密封面大致平行,且在所述密封状态时与另一方构件的密封面面接触。
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