[发明专利]成膜方法、成膜装置、元件结构体的制造方法及元件结构体的制造装置有效
| 申请号： | 201880010348.5 | 申请日： | 2018-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN110268091B | 公开（公告）日： | 2021-10-12 |
| 发明（设计）人： | 清健介;青代信;高桥明久;矢岛贵浩;加藤裕子 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12;H01L51/50;H05B33/04;H05B33/10 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 辛雪花;周艳玲 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的成膜方法通过将液状的树脂材料喷雾到加热部并气化，并且将经气化的蒸气供给到基板上而形成树脂材料膜，所述成膜方法以补偿所述树脂材料的气化率的方式控制成膜条件，所述树脂材料的气化率与作为供给到所述加热部的所述树脂材料的量的合计的气化累计量相应地减少。 | ||
| 搜索关键词： | 方法 装置 元件 结构 制造 | ||
【主权项】：
1.一种成膜方法，通过将液状的树脂材料喷雾到加热部并气化，并且将经气化的蒸气供给到基板上而形成树脂材料膜，其中，所述成膜方法以补偿所述树脂材料的气化率的方式控制成膜条件，所述树脂材料的气化率与作为供给到所述加热部的所述树脂材料的量的合计的气化累计量相应地减少。
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