[发明专利]吡锭盐化合物,其合成方法,包括所述吡锭盐化合物的金属或金属合金电镀浴,及所述金属或金属合金电镀浴的使用方法有效
申请号: | 201880010734.4 | 申请日: | 2018-01-26 |
公开(公告)号: | CN110268101B | 公开(公告)日: | 2022-03-25 |
发明(设计)人: | R·约刚内森;J·阿道夫;吴隽;L·科尔曼;H·布伦纳 | 申请(专利权)人: | 德国艾托特克公司 |
主分类号: | C07D401/12 | 分类号: | C07D401/12;C25D7/12;C25D3/38;C25D7/00;C25D3/58 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 林斯凯 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及吡锭盐化合物、用于其制备的合成方法、含有所述吡锭盐化合物的金属或金属合金电镀浴,及所述金属或金属合金电镀浴的使用方法。所述电镀浴尤其适合用于填充电子及半导体行业中的凹陷结构,包含双镶嵌应用。 | ||
搜索关键词: | 盐化 合成 方法 包括 述吡锭 金属 合金 电镀 使用方法 | ||
【主权项】:
1.一种化合物,其包括根据式(I)的构筑嵌段:
其中各A表示独立地选自下式(A1)及(A2)的单元:
其中Ra1、Ra2、Ra3及Ra5各自独立地选自由以下组成的群:C1‑C12‑烷二基及‑(CH2)c‑[CH(Ra6)‑CH2‑O]d‑(CH2)e‑,其中c为范围介于0至3的整数;d为范围介于1至100的整数;e为范围介于1至3的整数;各Ra6彼此独立地选自由以下组成的群:氢、烷基、芳基及芳烷基;各Ra4独立地选自由以下组成的群:烷二基、芳二基及‑(CH2)f‑[CH(Ra7)‑CH2‑O]g‑(CH2)h‑,其中f为范围介于0至3的整数;g为范围介于1至100的整数;h为范围介于1至3的整数;各Ra7彼此独立地选自由以下组成的群:氢、烷基、芳基及芳烷基;各X1及X2独立地选自由以下组成的群:
其中Z选自‑CH2‑、O、S;z及z'为范围独立地介于1至6的整数,各Ra8及Ra9独立地选自由以下组成的群:氢、烷基、芳基、芳烷基及‑CH2‑CH2‑(OCH2CH2)y‑OH,其中y为1至4的整数;各Y1、Y2及Y3独立地选自由O及N(Ra10)组成的群,其中各Ra10独立地选自由以下组成的群:氢、烷基、芳基及芳烷基;a为范围介于1至40的整数;且各D独立地选自由以下组成的群:‑CH2‑CH(OH)‑CH2‑、‑CH2‑CH(SH)‑CH2‑、‑(CH2)i‑[CH(Rd1)‑CH2‑O]j‑(CH2)k‑及‑CH2‑CH(OH)‑(CH2)l‑[CH(Rd2)‑CH2‑O]m‑(CH2)n‑CH(OH)‑CH2‑其中i为范围介于0至3的整数;j为范围介于1至100的整数;k为范围介于1至3的整数;各Rd1彼此独立地选自由以下组成的群:氢、烷基、芳基及芳烷基;l为范围介于1至3的整数;m为范围介于1至100的整数;n为范围介于1至3的整数;各Rd2彼此独立地选自由以下组成的群:氢、烷基、芳基及芳烷基。
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