[发明专利]电特性的检查夹具有效
| 申请号： | 201880011291.0 | 申请日： | 2018-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN110546517B | 公开（公告）日： | 2022-08-23 |
| 发明（设计）人： | 石松朋之;熊仓博之;青木正治;久保田贵子 | 申请（专利权）人： | 迪睿合株式会社 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;G01R31/26;H01L21/66;H01R12/68 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 何欣亭;闫小龙 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供即便在以微小间距形成的焊盘或凸点形成有氧化膜的情况下也能检查电特性的电特性的检查夹具。电特性的检查夹具具备：柔性片（11）；在柔性片（11）的一个面（11a）具有凹部（12a）的贯通电极（12）；以及配置在贯通电极（12）的凹部（12a）的导电性弹性体（13）。使焊盘或凸点与导电性弹性体接触，并使探针与贯通电极（12）接触，从而在检查对象物的焊盘或凸点形成有氧化膜的情况下导电性弹性体（13）中的导电性粒子也会冲破氧化膜，所以能够检查电特性。 | ||
| 搜索关键词： | 特性 检查 夹具 | ||
【主权项】：
1.一种电特性的检查夹具，具备：/n柔性片；/n贯通电极，在所述柔性片的一个面具有凹陷的凹部；以及/n导电性弹性体，配置在所述贯通电极的凹部。/n
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