[发明专利]离子方向性ESC在审
| 申请号： | 201880012346.X | 申请日： | 2018-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN110301031A | 公开（公告）日： | 2019-10-01 |
| 发明（设计）人： | 詹姆斯·E·卡朗 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H05B3/00 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 樊英如;张华 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供了一种用于在半导体处理室内支撑衬底的衬底支撑件。提供了衬底支撑体。至少一个电阻加热元件嵌入在所述衬底支撑体中或所述衬底支撑体上，其包括在所述衬底内或所述衬底上的第一加热电流路径以及在所述衬底内或所述衬底上的第二加热电流路径，其中所述第一加热电流路径距所述第二加热电流路径在4mm内，并且流过所述第一电流路径的所述电流与流过所述第二加热电流路径的电流方向相反。 | ||
| 搜索关键词： | 加热电流 衬底 衬底支撑体 电阻加热元件 半导体处理 衬底支撑件 电流方向 电流路径 离子 嵌入 室内 支撑 | ||
【主权项】：
1.一种用于在半导体处理室内支撑衬底的衬底支撑件，其中所述衬底支撑件包括：衬底支撑体；和嵌入在所述衬底支撑体中或所述衬底支撑体上的至少一个电阻加热元件，其包括在所述衬底支撑体内或所述衬底支撑体上的第一加热电流路径以及在所述衬底支撑体内或所述衬底支撑体上的第二加热电流路径，其中所述第一加热电流路径距所述第二加热电流路径在4mm内，并且流过所述第一加热电流路径的所述电流与流过所述第二加热电流路径的电流方向相反。
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