[发明专利]基于MEMS的传感器套件在审
| 申请号： | 201880012869.4 | 申请日： | 2018-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN110392836A | 公开（公告）日： | 2019-10-29 |
| 发明（设计）人： | 阮雄;大卫·T·陈;拉维夫·佩瑞希亚;罗根·D·索兰森 | 申请（专利权）人： | HRL实验室有限责任公司 |
| 主分类号： | G01P15/18 | 分类号： | G01P15/18;G01C17/28;G01C19/5783;G01C21/16;G01R33/00;G01R33/02 |
| 代理公司： | 北京泰吉知识产权代理有限公司 11355 | 代理人： | 张雅军;秦小耕 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种微机电(MEMS)传感器套件，包含三轴加速度计，所述三轴加速度计包含具有一系列面的加速度计传感器多面体，以及在所述加速度计传感器多面体的所述一系列面中的三个面上的一系列轴向加速度计。所述MEMS传感器套件还包含三轴磁力计，所述三轴磁力计包含具有一系列面的磁力计传感器多面体，以及在所述磁力计传感器多面体的所述一系列面中的三个面上的一系列轴向磁力计。 | ||
| 搜索关键词： | 磁力计 多面体 加速度计传感器 三轴加速度计 传感器套件 传感器 三轴 轴向 加速度计 微机电 套件 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS传感器套件，其特征在于，包括：三轴加速度计，其包括：加速度计传感器多面体，其包括多个面；多个轴向加速度计，其在所述加速度计传感器多面体的所述多个面中的三个面上；以及三轴磁力计，其包括：磁力计传感器多面体，其包括多个面；以及多个轴向磁力计，其在所述磁力计传感器多面体的所述多个面中的三个面上。
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