[发明专利]计算量测法有效
| 申请号： | 201880013446.4 | 申请日： | 2018-02-12 |
| 公开（公告）号： | CN110383177B | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | W·T·特尔;B·P·B·西哥斯;E·C·摩斯;埃米尔·皮特·斯克米特－威沃;张祎晨;柳星兰;赖纳·玛丽亚·琼伯鲁特;刘贤优;P·G·范里;M·基利蒂齐拉基 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 胡良均 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种方法包括确定在执行器件制造过程时与误差或残差关联的第一参数的第一分布；确定在执行所述器件制造过程时与误差或残差关联的第二参数的第二分布；和使用对所述第一分布和第二分布进行运算的函数确定与所述器件制造过程关联的感兴趣的参数的分布。所述函数可以包括相关性。 | ||
| 搜索关键词： | 计算 量测法 | ||
【主权项】：
1.一种方法，包括：确定在执行器件制造过程时与误差或残差关联的第一参数的第一分布；确定在执行所述器件制造过程时与误差或残差关联的第二参数的第二分布；和使用对所述第一分布和第二分布进行运算的函数，通过硬件计算机确定与所述器件制造过程关联的感兴趣的参数的分布。
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