[发明专利]测量变化的方法、检查系统、计算机程序和计算机系统

摘要

披露了在器件制造过程的步骤之后测量一图案在一个或多个衬底上的多个实例之间的变化的方法。在一种配置中，接收表示一组图像的数据。每个图像表示该图案的不同实例。该组图像相对于彼此被配准以叠加所述图案的实例。使用配准的该组图像来测量所述图案的变化。所述图案包括多个图案元素，并且所述配准包括将不同的权重应用于所述多个图案元素中的两个或更多个。所述权重控制每个图案元素对该组图像的配准的贡献程度。每个权重基于被应用所述权重的图案元素的预期变化。

主权项

1.一种在器件制造过程的步骤之后测量一图案在一个或多个衬底上的多个实例之间的变化的方法，包括：接收表示一组图像的数据，每个图像表示所述图案的不同实例；相对于彼此配准该组图像以叠加所述图案的实例；和使用配准的该组图像来测量所述图案的变化，其中：所述图案包括多个图案元素，并且该组图像的配准包括将不同的权重应用于所述多个图案元素中的两个或更多个，所述权重控制每个图案元素对该组图像的配准的贡献程度；并且每个权重基于被应用所述权重的图案元素的预期变化。