[发明专利]具有改进的频率性能的垂直探针测试头有效
| 申请号： | 201880013815.X | 申请日： | 2018-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN110325866B | 公开（公告）日： | 2022-04-08 |
| 发明（设计）人： | 罗伯特·克里帕;拉斐尔·瓦劳利 | 申请（专利权）人： | 泰克诺探头公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073 |
| 代理公司： | 北京商专永信知识产权代理事务所(普通合伙) 11400 | 代理人： | 方挺;黄谦 |
| 地址： | 意大*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种测试头(20)，适于校验集成在半导体晶片上的被测器件的工作，所述测试头(20)包括：至少一个导引件(40)，包括多个导引孔(40h)并且多个接触元件(21)容纳在所述多个导引孔(40h)中。适合地，至少一个导引件(40)包括多个导电层(30a‑30n)，每个导电层包括对应组(40a‑40n)所述导引孔(40h)的孔并且电连接容纳在所述组(40a‑40n)所述导引孔(40h)中的对应组的所述接触元件(21)，其中每个对应组的接触元件适于运载同一类型的信号。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 改进 频率 性能 垂直 探针 测试 | ||
【主权项】：
1.一种适于校验集成在半导体晶片上的被测器件的工作的测试头(20)，所述测试头(20)包括：至少一个导引件(40)，所述至少一个导引件(40)设置有多个导引孔(40h)；和容纳在所述多个导引孔(40h)中的多个接触元件(21)，所述测试头的特征在于：所述至少一个导引件(40)包括多个导电层(30a‑30n)，所述导电层(30a‑30n)中的每一个都包括所述导引孔(40h)的对应组(40a‑40n)的孔并且电连接容纳在所述导引孔(40h)的所述组(40a‑40n)中的所述接触元件(21)的对应组，其中每个对应组的接触元件适于运载相同类型的信号。
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