[发明专利]感光性树脂组合物有效
| 申请号： | 201880013871.3 | 申请日： | 2018-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN110325913B | 公开（公告）日： | 2022-11-01 |
| 发明（设计）人： | 内藤一也;落合真彦;小坂隼也 | 申请（专利权）人： | 旭化成株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/031 | 分类号： | G03F7/031;B32B27/00;G03F7/004;G03F7/029;H05K3/00 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
提供：激光直接成像型曝光方式中，比以往使用的敏化剂灵敏度(生产率)、分辨率、密合性还优异的感光性树脂组合物；等。一种感光性树脂组合物，其包含以下的成分：(A)碱溶性高分子；(B)具有烯属不饱和双键的化合物；(C)光聚合引发剂；和，(D)光敏化剂，(D)光敏化剂包含通式(2)所示的二苯乙烯基苯衍生物。式(2)中，R |
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| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 | ||
【主权项】：
1.一种感光性树脂组合物，其包含以下的成分：(A)碱溶性高分子；(B)具有烯属不饱和双键的化合物；(C)光聚合引发剂；和，(D)光敏化剂，所述(D)光敏化剂包含下述通式(2)所示的二苯乙烯基苯衍生物，![]()
式(2)中，R3、R4、R5分别表示氰基，c、e分别独立地表示1～5的整数，而且，d表示0～4的整数。
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