[发明专利]光检测装置在审
申请号: | 201880014153.8 | 申请日: | 2018-02-26 |
公开(公告)号: | CN110366673A | 公开(公告)日: | 2019-10-22 |
发明(设计)人: | 笠原隆;柴山胜己;广瀬真树;川合敏光;大山泰生;藏本有未 | 申请(专利权)人: | 浜松光子学株式会社 |
主分类号: | G01J3/26 | 分类号: | G01J3/26;G01J1/04 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 杨琦 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 光检测装置具备:封装体,其设置有窗部;法布里‑珀罗干涉滤波器,其在封装体内,使自窗部入射的光透过;及光检测器,其在封装体内,检测透过了法布里‑珀罗干涉滤波器的光。法布里‑珀罗干涉滤波器具有:基板,其具有窗部侧的第1表面及光检测器侧的第2表面;第1层构造体,其配置于第1表面,设置有第1镜部及第2镜部;及透镜部,其一体地设置于第2表面侧,且将透过了第1镜部及第2镜部的光聚光于光检测器。 | ||
搜索关键词: | 镜部 干涉滤波器 光检测器 法布里 窗部 光检测装置 封装 体内 封装体 构造体 光透过 透镜部 一体地 基板 聚光 入射 检测 配置 | ||
【主权项】:
1.一种光检测装置,其特征在于,具备:封装体,其设置有使光入射的窗部;法布里‑珀罗干涉滤波器,其配置于所述封装体内,且使自所述窗部入射的所述光透过;及光检测器,其以与所述法布里‑珀罗干涉滤波器分离的状态配置于所述封装体内,且检测透过了所述法布里‑珀罗干涉滤波器的所述光,所述法布里‑珀罗干涉滤波器具有:基板,其具有所述窗部侧的第1表面及所述光检测器侧的第2表面;第1层构造体,其配置于所述第1表面,设置有隔着空隙而彼此相对且彼此的距离设为可变的第1镜部及第2镜部;及透镜部,其一体地设置于所述第2表面侧,且将透过了所述第1镜部及所述第2镜部的所述光聚光于所述光检测器。
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