[发明专利]微通道板和电子倍增体有效
| 申请号： | 201880014730.3 | 申请日： | 2018-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN110366767B | 公开（公告）日： | 2021-08-10 |
| 发明（设计）人： | 永田贵章;浜名康全;西村一;增子太地 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | H01J43/24 | 分类号： | H01J43/24 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦;程采 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
一种微通道板，其具备：具有正面、背面和侧面的基体；从基体的正面贯通至背面的多个通道；至少在通道的内壁面上设置的第一膜；在第一膜上的至少一部分设置的第二膜；和在基体的正面上和背面上分别设置的电极层。第一膜由MgO形成，第二膜由SiO |
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| 搜索关键词： | 通道 电子 倍增 | ||
【主权项】：
1.一种微通道板，其特征在于，包括：具有正面、背面和侧面的基体；从所述基体的所述正面贯通至所述背面的多个通道；至少在所述通道的内壁面上设置的第一膜；在所述第一膜上的至少一部分设置的第二膜；和在所述基体的所述正面上和所述背面上分别设置的电极层，所述第一膜由MgO形成，所述第二膜由SiO2形成，所述第二膜的厚度比所述第一膜的厚度薄。
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