[发明专利]镀敷造型物的制造方法有效
| 申请号： | 201880015558.3 | 申请日： | 2018-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN110383170B | 公开（公告）日： | 2023-10-03 |
| 发明（设计）人： | 榊原宏和;伊东宏和;松本朋之;渡部和人 | 申请（专利权）人： | JSR株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/039;G03F7/20;G03F7/40;G03F7/42;H05K3/18 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨贝贝;臧建明 |
| 地址： | 日本东京港*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够抑制镀敷处理时的镀敷的渗入的镀敷造型物的制造方法，以及用于所述镀敷造型物的制造方法中、可在基板上形成抑制了镀敷的渗入的抗蚀剂的镀敷造型物制造用感光性树脂组合物。本发明的镀敷造型物的制造方法包括：在基材上形成感光性树脂组合物的感光性树脂涂膜的工序(1)，所述感光性树脂组合物含有因酸的作用而对碱的溶解性增大的树脂(A)、光酸产生剂(B)、及因酸的作用而分解并生成伯胺或仲胺的化合物(C)；对感光性树脂涂膜进行曝光的工序(2)；对曝光后的感光性树脂涂膜进行显影而形成抗蚀剂图案的工序(3)；以及将抗蚀剂图案作为掩模进行镀敷处理的工序(4)。 | ||
| 搜索关键词： | 造型 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种镀敷造型物的制造方法，其特征在于，包括：在基材上形成感光性树脂组合物的感光性树脂涂膜的工序(1)，所述感光性树脂组合物含有因酸的作用而对碱的溶解性增大的树脂(A)、光酸产生剂(B)、及因酸的作用而分解并生成伯胺或仲胺的化合物(C)；对所述感光性树脂涂膜进行曝光的工序(2)；对曝光后的所述感光性树脂涂膜进行显影而形成抗蚀剂图案的工序(3)；以及将所述抗蚀剂图案作为掩模进行镀敷处理的工序(4)。
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