[发明专利]用于测试测试样品的电特性的探针有效
| 申请号： | 201880016603.7 | 申请日： | 2018-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN110383077B | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | L·希夫 | 申请（专利权）人： | 卡普雷斯股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067;G01R3/00;G01R1/073;G01R31/28;G01R31/26;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘锋 |
| 地址： | 丹麦*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于材料和半导体晶片的直接(direct)纳米级和微米级电学表征的探针。探针(10)包括探针主体(12)、从探针主体延伸的第一悬臂(20a)。第一悬臂相对于所述探针主体限定第一回路。探针还包括由所述第一悬臂支撑的第一接触探针以及与第一接触探针电绝缘的第二接触探针。第二接触探针由第一悬臂或由从探针主体延伸的第二悬臂(20b)支撑。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 测试 样品 特性 探针 | ||
【主权项】：
1.一种用于测试测试样品的电特性的探针，所述探针包括：‑探针主体，所述探针主体具有限定基本上平坦的主体表面的第一侧面；‑第一悬臂，所述第一悬臂从所述探针主体延伸，并且具有在所述探针主体处的近端和与所述近端相对的远端，所述第一悬臂相对于所述探针主体限定第一回路，所述第一回路在基本上平行于所述平坦的主体表面的第一平面中延伸；‑由所述第一悬臂支撑的第一接触探针；‑与所述第一接触探针电绝缘的第二接触探针，所述第二接触探针由所述第一悬臂支撑或由从所述探针主体朝向所述远端延伸的第二悬臂支撑，所述第二悬臂相对于所述探针主体限定第二回路，所述第二回路在基本上平行于所述第一平面的第二平面中延伸，并且所述第二回路位于所述第一回路在所述第二平面上的投影内。
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