[发明专利]用于制造具有纹理的晶圆的方法和粗糙化喷雾处理装置

摘要

本发明涉及一种用于制造具有纹理的晶圆的方法以及一种能够用于这种方法的用于硅晶圆的粗糙化喷雾处理的装置。根据本发明的方法用于制造具有纹理的硅晶圆，其中，提供各晶圆坯件，并且在连续过程中在使用水平输送系统的情况下使得经线锯锯切的硅晶圆坯件经过多个相继的处理过程。在所述处理过程中的一个处理过程中使得所述晶圆坯件经过粗糙化喷雾过程，其中，为晶圆坯件的顶侧和/或底侧施加具有水基磨蚀粒子悬浮液的喷雾。例如应用于制造用于太阳能电池的具有纹理的硅晶圆。

主权项

1. 用于制造具有纹理的硅晶圆的方法，其中，‑ 提供各晶圆坯件（34），并且‑ 在连续过程中在使用水平输送系统（22）的情况下使得所述晶圆坯件经过多个相继的处理过程，‑ 其中，在所述处理过程中的一个处理过程中使得所述晶圆坯件经过粗糙化喷雾过程，在所述粗糙化喷雾过程中，为晶圆坯件的顶侧和/或底侧施加包含水基磨蚀粒子悬浮液的喷雾（35）。