[发明专利]圆筒型溅射靶的制造方法及圆筒型溅射靶在审
| 申请号： | 201880017587.3 | 申请日： | 2018-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN110402300A | 公开（公告）日： | 2019-11-01 |
| 发明（设计）人： | 冈野晋;长濑敏之;加藤慎司 | 申请（专利权）人： | 三菱综合材料株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B23K1/20 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 辛雪花;周艳玲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的圆筒型溅射靶的制造方法包括：焊接材涂布工序，在溅射靶材的内周面及衬管的外周面形成焊料基底层；冷却工序，在焊接材涂布工序之后冷却溅射靶材及衬管；氧化物去除工序，去除在焊料基底层表面生成的氧化物；及焊料接合工序，对溅射靶材与衬管进行焊料接合。 | ||
| 搜索关键词： | 焊料 溅射靶材 溅射靶 圆筒型 衬管 涂布工序 焊接 基底层表面 氧化物去除 接合工序 冷却工序 接合 基底层 内周面 外周面 氧化物 去除 制造 冷却 | ||
【主权项】：
1.一种圆筒型溅射靶的制造方法，所述圆筒型溅射靶具备：呈圆筒形状的溅射靶材；及衬管，通过由In或In合金构成的接合层而被接合在该溅射靶材的内周侧，所述圆筒型溅射靶的制造方法的特征在于，包括：焊接材涂布工序，通过加热所述溅射靶材及所述衬管，并且在所述溅射靶材的内周面及所述衬管的外周面涂布熔融的由In或In合金构成的焊接材来形成焊料基底层；冷却工序，在所述焊接材涂布工序之后，冷却所述溅射靶材及所述衬管；氧化物去除工序，在所述冷却工序之后，去除在所述焊料基底层的表面生成的氧化物；及焊料接合工序，在所述氧化物去除工序之后，使用由In或In合金构成的焊接材对所述溅射靶材与所述衬管进行焊料接合。
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