[发明专利]带有可移动位置幅材引导件的沉积系统

摘要

一种薄膜沉积系统包括幅材引导件系统，幅材引导件系统具有多个幅材引导件，多个幅材引导件为基体的幅材限定了幅材传输路径。幅材引导件系统包括可移动部分，可移动部分包括第一可移动位置幅材引导件和第二可移动位置幅材引导件。幅材传输控制系统使基体的幅材沿着幅材传输路径在幅材前进速度下前进。沉积头沿着幅材传输路径位于第一可移动位置幅材引导件与第二可移动位置幅材引导件之间。运动致动器系统使第一可移动位置幅材引导件和第二可移动位置幅材引导件的位置同步地移动，使得它们根据限定的振荡运动模式向前和向后移，同时在第一可移动位置幅材引导件与第二可移动位置幅材引导件之间维持恒定的距离，从而导致与沉积头相邻的介质的幅材的部分在沿轨道方向上向前和向后移动。

主权项

1.一种薄膜沉积系统，用于将材料沉积到基体的幅材上，所述基体的幅材沿着幅材传输路径在沿轨道方向上行进，所述薄膜沉积系统包括：幅材引导件系统，所述幅材引导件系统具有多个幅材引导件，多个幅材引导件为所述基体的幅材限定了幅材传输路径，所述幅材引导件系统包括：入口部分出口部分；以及可移动部分，所述可移动部分沿着所述幅材传输路径在所述入口部分与所述出口部分之间，所述可移动部分包括：第一可移动位置幅材引导件；以及第二可移动位置幅材引导件；其中，所述幅材传输路径导引所述基体的幅材穿过所述入口部分，然后围绕所述第一可移动位置幅材引导件，然后围绕所述第二可移动位置幅材引导件，然后穿过所述出口部分；幅材传输控制系统，所述幅材传输控制系统使所述基体的幅材沿着所述幅材传输路径在幅材前进速度下前进；沉积头，所述沉积头用于在所述基体的幅材移动越过所述沉积头时将所述材料沉积到所述基体的幅材的表面上，所述沉积头沿着所述幅材传输路径在所述第一可移动位置幅材引导件与所述第二可移动位置幅材引导件之间位于与所述基体的幅材相邻的固定位置中；以及运动致动器系统，所运动致动器系统述使所述第一可移动位置幅材引导件和所述第二可移动位置幅材引导件的位置同步地移动，使得它们根据限定的振荡运动模式来在可移动部分运动方向上向前和向后移动，同时在所述第一可移动位置幅材引导件与所述第二可移动位置幅材引导件之间维持恒定的距离，从而导致与所述沉积头相邻的所述介质的幅材的部分在沿轨道方向上向前和向后移动；其中，所述基体的幅材在大致与所述可移动部分运动方向相平行的方向上进入和离开所述第一可移动位置幅材引导件和所述第二可移动位置幅材引导件。