[发明专利]一种用于薄膜沉积系统的沉积单元

摘要

一种用于薄膜沉积系统的沉积单元包括沉积头中的一个或多个以及气体歧管。各沉积头包括：具有多个气体开口的输出面、包括多个沉积头气体端口的安装面、以及连接的气体通道。气体歧管包括附接面，附接面具有一个或多个界面区域，各界面区域包括在与沉积头气体端口相对应的位置中的多个歧管气体端口。各沉积头在界面区域中以定位在歧管气体端口与沉积头气体端口之间的密封元件来紧固到气体歧管。各沉积头的安装面及气体歧管的附接面包括对准特征，对准特征用于使各沉积头与气体歧管的界面区域对准。

主权项

1.一种用于薄膜沉积系统的沉积单元，包括:机器基部；沉积头中的一个或多个，各沉积头包括:输出面，所述输出面具有多个气体开口；安装面，所述安装面与所述输出面相对并且与所述输出面平行，所述安装面包括多个沉积头气体端口；以及气体通道，所述气体通道将在所述输出面上的所述气体开口中的各个连接到所述沉积头气体端口中的一个；以及气体歧管，所述气体歧管刚性地附接到所述机器基部，所述气体歧管包括：附接面，所述附接面具有一个或多个界面区域，各界面区域构造为与沉积头的所述安装面交界，并且包括在与所述沉积头气体端口相对应的位置中的多个歧管气体端口；多个气体连接；以及气体通道，所述气体通道将所述歧管气体端口中的各个连接到所述气体连接中的一个；其中，所述沉积头中的各个在界面区域中以定位在所述歧管气体端口与所述沉积头气体端口之间的密封元件来刚性地紧固到所述气体歧管；其中，各沉积头的所述安装面及所述气体歧管的所述附接面包括对准特征，所述对准特征用于使各沉积头与所述气体歧管的所述界面区域对准。