[发明专利]对象识别和比较有效
| 申请号： | 201880019984.4 | 申请日： | 2018-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN110446980B | 公开（公告）日： | 2022-05-27 |
| 发明（设计）人： | 安卓尼斯·科内利斯·马修斯·科普曼;S·A·米德莱布鲁克斯;W·M·J·M·考恩 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张启程 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种方法，包括：从一组已成形特征中选择一个已成形特征，所述一组已成形特征中的每个已成形特征在该已成形特征的形状的周边上具有一组点；针对所选已成形特征创建多个形状情境描述符，其中每个形状情境描述符提供所述一组点的第一焦点相对于所述一组点的第二点在形状情境描述符框架中的位置的指示；和基于来自所述多个形状情境描述符的数据从所述一组已成形特征中识别具有与所选择的已成形特征相同或类似形状的已成形特征。 | ||
| 搜索关键词： | 对象 识别 比较 | ||
【主权项】：
1.一种方法，包括：从一组已成形特征中选择一个已成形特征，该组已成形特征中的每个已成形特征在该已成形特征的形状的周边上具有一组点；由硬件计算机为所选已成形特征创建多个形状情境描述符，其中每个形状情境描述符提供所述一组点的第一焦点相对于所述一组点的第二点在形状情境描述符框架中的位置的指示；而且由所述硬件计算机基于来自所述多个形状情境描述符的数据从所述一组已成形特征中识别具有与所述选定已成形特征相同或类似形状的已成形特征。
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