[发明专利]截面观察装置以及控制方法有效
| 申请号： | 201880021028.X | 申请日： | 2018-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN110520958B | 公开（公告）日： | 2022-12-30 |
| 发明（设计）人： | 满欣;东淳三 | 申请（专利权）人： | 日本株式会社日立高新技术科学 |
| 主分类号： | H01J37/22 | 分类号： | H01J37/22;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 黄志坚;崔成哲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 截面观察装置对物体照射带电粒子束而使物体的截面反复露出，并且对露出的多个该截面中的至少一部分截面照射带电粒子束而取得表示该至少一部分截面中的各个截面的截面像信息，生成取得的各个截面像信息所表示的每个该截面的截面像，从而生成将所生成的各个截面像叠加而得到的三维像，其中，截面观察装置将第1三维像与第2三维像一起进行显示，该第1三维像是将基于第1条件而取得的各个截面像信息所表示的该截面的截面像即第1截面像叠加而得到的三维像，该第2三维像是将基于第2条件而取得的各个截面像信息所表示的该截面的截面像即第2截面像叠加而得到的三维像。 | ||
| 搜索关键词： | 截面 观察 装置 以及 控制 方法 | ||
【主权项】：
1.一种截面观察装置，其对物体照射带电粒子束而使所述物体的截面反复露出，并且对露出的多个所述截面中的至少一部分所述截面照射带电粒子束而取得表示所述至少一部分所述截面中的各个截面的截面像信息，生成取得的各个该截面像信息所表示的所述截面的截面像，从而生成将所生成的各个所述截面像叠加而得到的三维像，其中，/n该截面观察装置将第1三维像与第2三维像一起显示于显示部，其中，该第1三维像是将第1截面像叠加而得到的三维像，该第2三维像是将第2截面像叠加而得到的三维像，该第1截面像是基于互相不同的多个观察条件中的第1条件而取得的各个所述截面像信息所表示的所述截面的所述截面像，该第2截面像是基于所述观察条件中的与所述第1条件不同的第2条件而取得的各个所述截面像信息所表示的所述截面的所述截面像。/n
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