[发明专利]用于基板输送设备位置补偿的方法和设备在审

申请号：	201880021563.5	申请日：	2018-01-26
公开（公告）号：	CN110462808A	公开（公告）日：	2019-11-15
发明（设计）人：	J.T.莫拉;R.T.卡夫尼;B.殷;N.斯皮克;V.W.曾	申请（专利权）人：	布鲁克斯自动化公司
主分类号：	H01L21/677	分类号：	H01L21/677;B25J9/00;B25J9/02;B25J9/06;B25J11/00
代理公司：	72001 中国专利代理(香港)有限公司	代理人：	邹松青;王丽辉<国际申请>=PCT/US
地址：	美国马***	国省代码：	美国;US
权利要求书：	查看更多	说明书：	查看更多
摘要：	用于处理工具的基板输送系统的基板输送经验臂下垂测绘设备，所述测绘设备包括：框架；安置在框架上的接口，该接口形成基准特征，所述基准特征代表由基板输送系统限定的在处理工具中的基板输送空间；基板输送臂，其是铰接的并且具有基板固持器，并且以与基准特征中的至少一个的预定关系安装到框架；以及记录系统，其相对于基板输送臂和至少一个基准特征安置，使得由于在第一臂位置和不同于第一臂位置的第二臂位置之间的并且其中基板固持器沿着至少一个运动轴线在输送空间中移动的臂下垂改变，记录系统在臂下垂距离记录中记录经验臂下垂距离。
搜索关键词：	基准特征基板输送系统基板固持器基板输送臂处理工具记录系统下垂距离第一臂下垂测绘基板输送空间基板输送接口形成输送空间预定关系运动轴线第二臂安置记录铰接移动
钻瓜网技术展会专利词库专利权人专利榜在售专利公布日期热门专利

【主权项】：

1.一种用于处理工具的基板输送系统的基板输送经验臂下垂测绘设备，所述测绘设备包括：/n框架；/n安置在所述框架上的接口，所述接口形成基准特征，所述基准特征代表由所述基板输送系统限定的在所述处理工具中的基板输送空间；/n基板输送臂，所述基板输送臂是铰接的并且具有基板固持器，所述基板输送臂以与所述基准特征中的至少一个的预定关系安装到所述框架；以及/n记录系统，所述记录系统相对于所述基板输送臂和至少一个基准特征安置，使得所述记录系统在臂下垂距离记录中记录经验臂下垂距离，其是由于在第一臂位置和不同于所述第一臂位置的第二臂位置之间的并且其中所述基板固持器沿着至少一个运动轴线在所述输送空间中移动的臂下垂改变而引起的。/n

下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。

免登录下载普通用户下载升级VIP会员，免费下载

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于布鲁克斯自动化公司，未经布鲁克斯自动化公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】

本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201880021563.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。

同类专利

专利分类

H 电学

H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造

免登录下载普通用户下载升级VIP会员，免费下载

[发明专利]用于基板输送设备位置补偿的方法和设备在审

专利文献下载