[发明专利]EUV用感光性光刻胶微细图案形成用显影液组合物有效
| 申请号： | 201880021974.4 | 申请日： | 2018-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN110476127B | 公开（公告）日： | 2022-11-01 |
| 发明（设计）人： | 李秀珍;金起洪;李昇勋;李昇炫 | 申请（专利权）人： | 荣昌化学制品株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/32 | 分类号： | G03F7/32;G03F7/26 |
| 代理公司： | 北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11384 | 代理人： | 郑青松 |
| 地址： | 韩国庆*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体制造工艺中EUV(Extreme Ultraviolet：远紫外线)用显影液组合物，更详细而言，涉及一种在显影时能够降低Eop并更均匀地形成图案的微细图案形成用显影液组合，涉及一种EUV(Extreme Ultraviolet)用微细图案形成用显影液组合物，其特征在于，包括：以化学式1表示的水溶性聚合物、以化学式2表示的非离子性表面活性剂及碱性化合物。 | ||
| 搜索关键词： | euv 感光性 光刻 微细 图案 形成 显影液 组合 | ||
【主权项】：
1.一种微细图案形成用显影液组合物，包括：/n以下述化学式1表示的水溶性聚合物；/n以下述化学式2表示的非离子性表面活性剂；及/n碱性化合物，/n[化学式1]/n
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