[发明专利]感光性树脂组合物、图案固化物的制造方法、固化物、层间绝缘膜、覆盖涂层、表面保护膜以及电子部件在审
申请号: | 201880022380.5 | 申请日: | 2018-03-30 |
公开(公告)号: | CN110520795A | 公开(公告)日: | 2019-11-29 |
发明(设计)人: | 土屋越晴;榎本哲也;川守崇司;齐藤伸行;鲤渕由香里;吉泽笃太郎;朝田皓 | 申请(专利权)人: | 日立化成杜邦微系统股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/027 | 分类号: | G03F7/027;G03F7/004 |
代理公司: | 11243 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人: | 陈彦;胡玉美<国际申请>=PCT/JP2 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 一种感光性树脂组合物,其含有:(A)具有聚合性不饱和键的聚酰亚胺前体、(B)具有脂肪族环状骨架的聚合性单体、(C)光聚合引发剂、和(D)溶剂。 | ||
搜索关键词: | 感光性树脂组合物 聚合性不饱和键 光聚合引发剂 聚酰亚胺前体 聚合性单体 环状骨架 脂肪族 溶剂 | ||
【主权项】:
1.一种感光性树脂组合物,其含有:/n(A)具有聚合性不饱和键的聚酰亚胺前体、/n(B)具有脂肪族环状骨架的聚合性单体、/n(C)光聚合引发剂、和/n(D)溶剂。/n
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