[发明专利]感光性树脂组合物、图案固化物的制造方法、固化物、层间绝缘膜、覆盖涂层、表面保护膜以及电子部件在审

专利信息
申请号: 201880022380.5 申请日: 2018-03-30
公开(公告)号: CN110520795A 公开(公告)日: 2019-11-29
发明(设计)人: 土屋越晴;榎本哲也;川守崇司;齐藤伸行;鲤渕由香里;吉泽笃太郎;朝田皓 申请(专利权)人: 日立化成杜邦微系统股份有限公司
主分类号: G03F7/027 分类号: G03F7/027;G03F7/004
代理公司: 11243 北京银龙知识产权代理有限公司 代理人: 陈彦;胡玉美<国际申请>=PCT/JP2
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 一种感光性树脂组合物,其含有:(A)具有聚合性不饱和键的聚酰亚胺前体、(B)具有脂肪族环状骨架的聚合性单体、(C)光聚合引发剂、和(D)溶剂。
搜索关键词: 感光性树脂组合物 聚合性不饱和键 光聚合引发剂 聚酰亚胺前体 聚合性单体 环状骨架 脂肪族 溶剂
【主权项】:
1.一种感光性树脂组合物,其含有:/n(A)具有聚合性不饱和键的聚酰亚胺前体、/n(B)具有脂肪族环状骨架的聚合性单体、/n(C)光聚合引发剂、和/n(D)溶剂。/n
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