[发明专利]化合物、包含化合物的抗蚀剂组合物和使用其的图案形成方法在审
| 申请号： | 201880022942.6 | 申请日： | 2018-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN110476122A | 公开（公告）日： | 2019-11-19 |
| 发明（设计）人： | 工藤宏人;佐藤隆;越后雅敏 | 申请（专利权）人： | 学校法人关西大学;三菱瓦斯化学株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;C07H13/08;C08G8/20;G03F7/027;G03F7/038;G03F7/20 |
| 代理公司： | 11277 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 刘新宇;李茂家<国际申请>=PCT/JP |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种抗蚀剂组合物，其包含1种以上的丹宁化合物，所述丹宁化合物选自由结构中包含至少一个交联性反应基团的丹宁和其衍生物、以及将它们作为单体而得到的树脂组成的组。 | ||
| 搜索关键词： | 丹宁 交联性反应基团 抗蚀剂组合物 树脂组成 自由结构 | ||
【主权项】：
1.一种抗蚀剂组合物，其包含1种以上的丹宁化合物，所述丹宁化合物选自由结构中包含至少一个交联性反应基团的丹宁和其衍生物、以及将它们作为单体而得到的树脂组成的组。/n
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