[发明专利]厚度测定装置、厚度测定方法及厚度测定程序有效
申请号: | 201880023362.9 | 申请日: | 2018-03-30 |
公开(公告)号: | CN110506192B | 公开(公告)日: | 2021-10-22 |
发明(设计)人: | 金学成;吴敬焕;金德中;朴桐韵 | 申请(专利权)人: | 汉阳大学校产学协力团 |
主分类号: | G01B15/02 | 分类号: | G01B15/02;G06F17/10 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 杨贝贝;臧建明 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明公开厚度测定装置。所述厚度测定装置可包括接收根据反射模式及透过模式中至少一个模式的太赫兹波的太赫兹波信号处理部、考虑所述第一反射太赫兹波与所述第二反射太赫兹波之间的第二时间差信息获取所述厚度测定对象体的折射率信息的折射率信息获取部及考虑所述折射率信息获取所述厚度测定对象体的厚度信息的厚度信息获取部。本发明利用向所述厚度测定对象体照射的太赫兹波获取所述厚度测定对象体的折射率,可利用获取的所述折射率获取所述厚度测定对象体的厚度,因此,能够在短时间内测定所有所述厚度测定对象体的折射率及厚度。 | ||
搜索关键词: | 厚度 测定 装置 方法 程序 | ||
【主权项】:
1.一种厚度测定装置,包括:/n太赫兹波信号处理部,其接收通过厚度测定对象体的表面并在背面反射的第一反射太赫兹波与在所述厚度测定对象体的表面反射的第二反射太赫兹波;/n折射率信息获取部,其考虑所述第一反射太赫兹波与所述第二反射太赫兹波之间的第二时间差信息获取所述厚度测定对象体的折射率信息;以及/n厚度信息获取部,其考虑所述折射率信息获取所述厚度测定对象体的厚度信息。/n
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