[发明专利]光学组件的气密性测试有效
| 申请号： | 201880023484.8 | 申请日： | 2018-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN110799822B | 公开（公告）日： | 2021-12-07 |
| 发明（设计）人： | 达纳·德尔贝克;保罗·卡迪尔;周安·塞巴斯蒂安·奥多纳兹·奥尔拉纳;阿南特·苏伯拉曼尼亚 | 申请（专利权）人： | 英迪格迪贝特斯公司 |
| 主分类号： | G01M3/04 | 分类号： | G01M3/04;G01M3/18;G01M3/38;G02B6/42;G02B6/12 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;吴启超 |
| 地址： | 比利时兹*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于测试具有与衬底(2)集成在一起的光学微结构(3)的光学组件(1)的方法。所述光学微结构(3)经定位以形成所述衬底(2)的表面(5)的一部分上的外部光学交互区域(4)。盖罩(6)密封所述衬底(2)的所述表面(5)的与所述光学微结构(3)相邻的至少一部分以获得密封腔(9)。光学馈通(10)集成于所述衬底(2)中以形成从所述密封腔(9)内起始的外部通信路径。所述光学馈通(10)允许将在所述密封腔(9)内部测量的物理参数值传达到所述密封腔(9)外部。所述物理参数值与所述密封腔(9)的气密性的量度相关联。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 组件 气密性 测试 | ||
【主权项】：
1.一种用于测试光学组件(1)的方法，包括/n-提供衬底(2)和与所述衬底(2)集成在一起的光学微结构(3)，所述光学微结构(3)包括一个或多个集成光学部件，所述集成光学部件完全或部分地嵌入、集成或图案化于所述衬底中并且经定位以形成所述衬底(2)的表面(5)的一部分上方的光学交互区域(4)，/n-将盖罩(6)密封到所述衬底(2)的表面(5)的至少一部分并与所述光学微结构(3)相邻，因此获得密封腔(9)，/n-提供用于测量所述密封腔(9)内部的物理参数的物理参数传感器装置(13)，所述物理参数是所述密封腔(9)的气密性的量度，/n-在所述物理参数传感器装置(13)与所述光学微结构(3)之间提供集成于所述衬底(2)中的光学馈通(10)，所述光学馈通(10)形成从所述密封腔(9)内到所述密封腔(9)外部的区域并且用于传达所测量的物理参数值的通信路径，/n-借助于所述密封腔(9)内部的所述物理参数传感器装置测量所述密封腔(9)内部的所述物理参数值，和/n-经由所述光学馈通(10)将所述所测量的物理参数值传达到所述密封腔(9)外部的所述区域。/n
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