[发明专利]泵送单元及其用途有效
| 申请号： | 201880023602.5 | 申请日： | 2018-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN110506163B | 公开（公告）日： | 2021-09-24 |
| 发明（设计）人： | P·德哈博勒 | 申请（专利权）人： | 普发真空公司 |
| 主分类号： | F04C23/00 | 分类号： | F04C23/00;F04C25/02;F04C18/12 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 雷明;吴鹏 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种泵送单元(1)，它包括：包括串联配装的至少四个泵送级(T1、T2、T3、T4、T5)的多级干式初级真空泵(2)，其特征在于，泵送单元包括：包括串联配装的第一和第二泵送级(B1，B2)的两级罗茨真空泵(3)，两级罗茨真空泵(3)的第二泵送级(B2)以与初级真空泵(2)的第一泵送级(T1)串联并在待泵送气体流的方向上位于后者的上游的方式配装，由两级罗茨真空泵(3)的第一泵送级(B1)产生的流量与由两级罗茨真空泵(3)的第二泵送级(B2)产生的流量之比小于六，由两级罗茨真空泵(3)的第二泵送级(B2)产生的流量与由初级真空泵(2)的第一泵送级(T1)产生的流量之比小于六。本发明还涉及所述泵送单元(1)的用途。 | ||
| 搜索关键词： | 单元 及其 用途 | ||
【主权项】：
1.泵送单元(1)，它包括：/n-多级的干式的初级真空泵(2)，所述初级真空泵包括串联地配装的至少四个泵送级(T1、T2、T3、T4、T5)，/n其特征在于，所述泵送单元(1)包括：/n-两级罗茨真空泵(3)，所述两级罗茨真空泵包括串联地配装的第一和第二泵送级(B1，B2)，所述两级罗茨真空泵(3)的第二泵送级(B2)以与所述初级真空泵(2)的第一泵送级(T1)串联并在待泵送气体的流的方向上位于所述初级真空泵的第一泵送级上游的方式配装，/n-所述两级罗茨真空泵(3)的第一泵送级(B1)的容积排量与所述两级罗茨真空泵(3)的第二泵送级(B2)的容积排量之比小于六，以及/n-所述两级罗茨真空泵(3)的第二泵送级(B2)的容积排量与所述初级真空泵(2)的第一泵送级(T1)的容积排量之比小于六。/n
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