[发明专利]伪散斑图案生成装置、伪散斑图案生成方法、观察装置和观察方法有效
| 申请号： | 201880023619.0 | 申请日： | 2018-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN110494794B | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 酒井宽人;安藤太郎;丰田晴义;大竹良幸;泷口优;兵土知子 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | G02B27/48 | 分类号： | G02B27/48;G02B21/06;G02F1/13 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦;黄浩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 伪散斑图案生成装置(1A)包括第一空间光调制器(13)、透镜(14)、第二空间光调制器(15)和透镜(16)等。第一空间光调制器(13)具有基于伪随机数图案的第一强度调制分布，对从光源(11)输出而由扩束器(12)放大了光束直径的光空间地进行强度调制。第二空间光调制器(15)具有基于滤波函数的第二强度调制分布，设置在由透镜(14)生成傅立叶变换图案的面，对经透镜(14)到达的光空间地进行强度调制。透镜(16)对从第二空间光调制器(15)输出的光的图案光学地进行傅立叶变换而生成该傅立叶变换图案作为伪散斑图案。由此，实现生成的散斑图案的空间构造或光强度统计分布的设定的自由度高的伪散斑图案生成装置等。 | ||
| 搜索关键词： | 伪散斑 图案 生成 装置 方法 观察 | ||
【主权项】：
1.一种伪散斑图案生成装置，其特征在于，包括：/n输出光的光源；/n第一空间光调制器，其具有基于伪随机数图案的第一强度调制分布，根据所述第一强度调制分布对从所述光源输出的光空间地进行强度调制，输出其调制后的光；/n第一光学系统，其对从所述第一空间光调制器输出的光的图案光学地进行傅立叶变换而生成该傅立叶变换图案；/n第二空间光调制器，其设置在由所述第一光学系统生成所述傅立叶变换图案的面，具有基于滤波函数的第二强度调制分布，根据所述第二强度调制分布对经所述第一光学系统到达的光空间地进行强度调制，输出其调制后的光；/n第二光学系统，其对从所述第二空间光调制器输出的光的图案光学地进行傅立叶变换而在光图案生成面生成该傅立叶变换图案作为伪散斑图案；和/n控制部，其对所述第一空间光调制器的所述第一强度调制分布和所述第二空间光调制器的所述第二强度调制分布这两者或其中任一者进行设定。/n
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