[发明专利]用于从所制造组件识别的图案缺陷的系统性及随机性表征的系统、方法及计算机程序产品有效
| 申请号： | 201880023806.9 | 申请日： | 2018-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN110494741B | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | A·帕克;M·E·普里尔;A·J·克罗斯 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/95 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘丽楠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于从所制造组件识别的图案缺陷的系统性及随机性表征的系统、方法及计算机程序产品。在使用中，识别从所制造组件检测的多个图案缺陷。另外，基于预定义准则来分析所述图案缺陷中的每一者的属性。此外，从所述分析确定所述多个图案缺陷的第一组图案缺陷是系统图案缺陷，且从所述分析确定所述多个图案缺陷的第二组图案缺陷是随机图案缺陷。此外，针对所述经确定系统图案缺陷执行第一动作，且针对所述经确定随机图案缺陷执行第二动作。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制造 组件 识别 图案 缺陷 系统性 随机性 表征 系统 方法 计算机 程序 产品 | ||
【主权项】：
1.一种非暂时性计算机可读媒体，其存储具有可由处理器执行以执行方法的代码的计算机程序产品，所述方法包括：/n识别从所制造组件检测的多个图案缺陷；/n基于预定义准则来分析所述图案缺陷中的每一者的属性；/n从所述分析确定所述多个图案缺陷的第一组图案缺陷是系统图案缺陷，及确定所述多个图案缺陷的第二组图案缺陷是随机图案缺陷；/n针对所述经确定系统图案缺陷执行第一动作；及/n针对所述经确定随机图案缺陷执行第二动作。/n
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