[发明专利]半导体马赫-曾德尔型光调制器有效
| 申请号： | 201880026064.5 | 申请日： | 2018-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN110573940B | 公开（公告）日： | 2023-02-28 |
| 发明（设计）人： | 尾崎常祐;小木曾义弘;柏尾典秀 | 申请（专利权）人： | 日本电信电话株式会社 |
| 主分类号： | G02F1/025 | 分类号： | G02F1/025;G02F1/017 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 吕琳;朴秀玉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的半导体MZM具备：第一信号电极和第二信号电极，分别与第一臂波导和第二臂波导并联地形成；多个第一相位调制电极和第二相位调制电极，从第一信号电极和第二信号电极分支，分别沿第一信号电极和第二信号电极离散地设于第一臂波导和第二臂波导上；第一接地电极和第二接地电极，沿第一信号电极和第二信号电极并联地形成；以及多个连接配线，在多个点之间连接第一接地电极和第二接地电极，第一信号电极和第二信号电极被输入/输出差分信号，相邻的所述多个连接配线以在第一信号电极和第二信号电极中传输的信号的波长的1/4以下的间隔进行设置。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 马赫 曾德尔型光 调制器 | ||
【主权项】：
1.一种半导体马赫-曾德尔型光调制器，其特征在于，具备：/n输入波导；光分波器，对从所述输入波导输入的光进行分波；第一臂波导和第二臂波导，对由所述光分波器进行了分波的光进行波导；光合波器，对由所述第一臂波导和所述第二臂波导进行了波导的光进行合波；以及输出波导，输出由所述光合波器进行了合波的光，/n所述第一臂波导和所述第二臂波导具备将第一导电性半导体包层、非掺杂半导体芯层以及第二导电性半导体包层按顺序层叠在半导体基板上而形成的波导构造，/n所述半导体马赫-曾德尔型光调制器具备：/n第一信号电极，与所述第一臂波导并联地形成；/n第二信号电极，与所述第二臂波导并联地形成；/n多个第一相位调制电极，从所述第一信号电极分支，沿所述第一信号电极离散地设于所述第一臂波导上；/n多个第二相位调制电极，从所述第二信号电极分支，沿所述第二信号电极离散地设于所述第二臂波导上；/n第一接地电极，沿所述第一信号电极并联地形成；/n第二接地电极，沿所述第二信号电极并联地形成；以及/n多个连接配线，在多个点之间连接所述第一接地电极和所述第二接地电极，/n所述第一信号电极和所述第二信号电极被输入/输出差分信号，/n相邻的所述多个连接配线以在所述第一信号电极和所述第二信号电极中传输的信号的波长的1/4以下的间隔进行设置。/n
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