[发明专利]具有电极线状物的等离子体反应器在审
| 申请号： | 201880026528.2 | 申请日： | 2018-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN110537242A | 公开（公告）日： | 2019-12-03 |
| 发明（设计）人： | 肯尼思·S·柯林斯;迈克尔·R·赖斯;卡提克·雷马斯瓦米;詹姆斯·D·卡达希 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国;赵静<国际申请>=PCT/US2 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 等离子体反应器包括具有提供等离子体腔室的内部空间并且具有顶板的腔室主体、用于将处理气体输送至等离子体腔室的气体分配器、耦接至等离子体腔室以抽空腔室的泵、保持工件面向顶板的工件支撑件、包括绝缘框架和在顶板与工件支撑件之间横向延伸穿过等离子体腔室的线状物的腔室内电极组件(线状物包括至少部分地由从绝缘框架延伸的绝缘外壳围绕的导体)和向腔室内电极组件的导体供应第一RF功率的第一RF功率源。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体腔室 工件支撑件 导体 电极组件 绝缘框架 线状物 等离子体反应器 室内 气体分配器 处理气体 横向延伸 绝缘外壳 腔室主体 抽空腔 耦接 穿过 延伸 | ||
【主权项】：
1.一种等离子体反应器，包括：/n腔室主体，所述腔室主体具有提供等离子体腔室的内部空间并且具有顶板；/n气体分配器，所述气体分配器用于将处理气体输送至所述等离子体腔室；/n泵，所述泵耦合至所述等离子体腔室以抽空所述腔室；/n工件支撑件，所述工件支撑件用于保持工件面向所述顶板；/n腔室内电极组件，所述腔室内电极组件包括绝缘框架和在所述顶板与所述工件支撑件之间横向延伸穿过所述等离子体腔室的线状物，所述线状物包括导体，所述导体至少部分地由绝缘外壳围绕，所述绝缘外壳从所述绝缘框架延伸；和/n第一RF功率源，所述第一RF功率源用于向所述腔室内电极组件的所述导体供应第一RF功率。/n
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